ビジョンと干渉法による大型モノリシックミラーのキャリブレーシ... ノート

ビジョンと干渉法による大型モノリシックミラーのキャリブレーション向上

Measurement誌に掲載された新しい研究で、中国科学院長春光学精密機械物理研究所の研究者たちは、マシンビジョンと干渉法を組み合わせたキャリブレーション方法を開発しました。この方法は、ミラーの固定された内部オフセットと、テストパスアライメントの変化を分離します。