サブ10 nmチャネルおよびコンタクト長を有する全二次元垂直... ノート

サブ10 nmチャネルおよびコンタクト長を有する全二次元垂直金属-半導体電界効果トランジスタ

チャネル長(Lch)とコンタクト長(Lc)の同時微細化は、2次元トランジスタの工業化に向けた重要な課題であり続けている。ここでは、著者らは、サブ10 nmのLchとLcを持つ2次元MoS2チャネルに基づいた高性能垂直金属-半導体電界効果トランジスタの実現を報告している。