Nature | Nanotechnology на русском
Подписаться
Двумерные материалы для передовых технологий задней части кристалла и тыльной стороны пластины
Двумерные материалы обладают низким удельным сопротивлением, эффективным теплоотводом и совместимостью с технологиями последующей обработки, что делает их перспективными для передовых межсоединений, тылового питания и повышения эффективности полупроводниковых чипов следующего поколения.