Nature | Materials на русском
Подписаться
Кремниево-напыленные танталовые пленки для масштабируемых высокопроизводительных квантовых устройств
Распыление криптона способствует синтезу пленок тантала с объемно-центрированной кубической структурой на кремнии при температурах до 200 °C, что совместимо со стандартами изготовления на завершающей стадии производства. Сверхпроводящие кубиты на основе этих тонких пленок демонстрируют превосходные характеристики.