Nature | Nanotechnology 한국어 팔로우 200mm 실리콘 웨이퍼 상의 원자층 증착 산화물 반도체의 단일체 3D 집적 200mm 웨이퍼 상에서 산화물 반도체 소자의 단일체 3D 집적을 시연하여, 수직으로 상호 연결된 로직 및 메모리를 가능하게 하고 에너지 효율적인 AI 가속기 설계를 지원합니다. Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers nature.com Nature | Nanotechnology 한국어 RSS thenote.app
