工业二维-合成合成的可扩展转移 笔记

工业二维-合成合成的可扩展转移

Foundry 兼容的二维材料转移是埃米时代互补场效应晶体管逻辑的核心,其中原子级薄的沟道必须从生长晶圆无损地转移至目标堆叠,避免污染、应变或界面损伤。可扩展的剥离、键合及晶圆级计量是实现实验室尺度器件性能与 300 mm CMOS 制造之间衔接的关键。