视测法与干涉测量法提升大型单块镜面的校准精度 笔记

视测法与干涉测量法提升大型单块镜面的校准精度

在一项发表于《Measurement》的新研究中,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所的研究人员开发了一种结合机器视觉与干涉测量的校准方法。该方法能够将镜子的固定内部偏移与测试光路对准的变化分离开来。