Nature | Nanotechnology 中文 关注 用于先进后端工艺和晶圆背面技术的二维材料 二维材料具有低电阻率、优异的热管理能力以及与后端工艺(back-end-of-line)的兼容性,使其在先进互连、背面供电以及提升下一代半导体芯片效率方面展现出巨大潜力。 Two-dimensional materials for advanced back-end-of-line and wafer backside technologies nature.com Nature | Nanotechnology 中文 RSS thenote.app