Nature | Nanotechnology 中文 关注 原子层沉积氧化物半导体在 200 毫米硅晶圆上的单片 3D 集成 在 200 毫米晶圆上实现了氧化物半导体器件的单体三维集成,实现了逻辑与存储器的垂直互连,并支持高效能人工智能加速器的设计。 Monolithic 3D integration of atomic-layer-deposited oxide semiconductors on 200-mm silicon wafers nature.com Nature | Nanotechnology 中文 RSS thenote.app